现有实验仪器：典型传感器实验箱、晶体管图示仪、单晶少子寿命测试仪、四探针测试仪、电容电压测试仪、显微探针操作台、金相显微镜、光电池实验板、光照度计、万用表等。

该实验室主要开设典型传感器特性分析实验、半导体材料检测分析实验、半导体器件检测分析实验等。通过这些实验项目，可以加深学生对半导体物理、半导体器件等知识的理解与应用，促进学生对集成电路工艺的学习与理解，增强学生应用实践的能力。